一、氯化法：將液氯汽化，通入氯氣干燥塔脫水而成干燥的氯氣，把干燥的氯氣通入反應器中與三氯化磷液體進行氯化反應，氯氣需一直通至由溶液經糊狀再轉變成完全干燥的結晶產品為止，即得五氯化磷成品。其反應方程式為：PCI3+Cl2→PCI5可通入二氧化碳氣體將殘余氯氣排出，再加以回收。

二、反應裝置是一只磨口的三頸圓底燒瓶，中間安裝有滴液漏斗，兩邊各安裝進氣管和出氣管。從氯氣鋼瓶中放出的氯氣經過安全瓶和盛有濃硫酸的洗氣瓶(也作計泡器用)進入燒瓶中，出氣管口應連上干燥管。向燒瓶中通入氯氣，使全部儀器充滿氯氣后，從滴液漏斗將三氯化磷滴入，滴加速度應稍快，約每分鐘一滴(否則滴管口上會被生成的五氯化磷堵住)。邊通氯氣邊滴加三氯化磷，三氯化磷加完后再繼續通氯氣5min。靜置半小時，使反應完全。產品裝入磨口玻璃瓶中。